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◆ 課題

メッキ製造ラインで使用する洗浄水に関して、オゾン殺菌後の水に残留する非常に低濃度なオゾンの除去にUV照射が有効かどうかを評価する

◆ 実験方法

オゾン水をUV殺菌ユニットに供給し、UV照射によりオゾンを除去する。
 ・UV照射によるオゾン濃度の変化を測定する。
 ・オゾン水濃度の差による除去効果の変化を確認する。
 ・製造ラインで使用する水量に対するUV照射量を算出する。
 ・製造ラインにおけるオゾン除去システムとして実現の可能性を検討する。

UV殺菌ユニットの仕様

UV照射量：30mW sec/cm2
照射サイズ：内径Φ60 × L270mm
タンク内容積：0.76L

実験装置

◆ 実験結果

◆ 結論

非常に低濃度なオゾン水もUV照射により水中の残留オゾンを分解除去することができる。
洗浄水の殺菌については0.02～0.03ppmのオゾン濃度で処理している。
供給配管にUV照射装置を組込むことにより0.01ppm以下までオゾン濃度を抑制できる。
工場で処理するオゾン水環境について、オゾン水濃度0.02ppm×30m3/h処理する場合 1.5W・sec/cm2のUV照射量が必要となる。

◆ 考察

貯蔵タンクから洗浄ラインへ洗浄水を供給する配管にUV照射装置を組込み、ワンパス処理することで60％以上の残留オゾンが除去できる。
その結果製造ラインでの残留オゾン濃度は常に0.01ppm以下にできると判断する。
さらに洗浄ラインでのオゾン濃度を低くする方法として、配管に組み込むUV照射装置を直列に2組接続することにより、85％以上の残留オゾンが除去できるため、製造ラインでの残留オゾン濃度は0.005ppm未満にできると考える。