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二酸化硫黄の脱臭実験

◆ 課題

クリーンルーム内の基板製造工程で発生し、室内に残留する二酸化硫黄の除去方法として、当社のアクアオゾンシステムで対応可能かについて評価する。

◆ 実験方法

亜硫酸水溶液を三角フラスコに入れ空気を吹き込むことにより、二酸化硫黄を強制揮発させる。
その排気を別の三角フラスコに供給し、水中バブリングによる吸着除去効果を確認する。
さらにオゾンを供給することによる除去効果を確認する。
※ オゾンと水中バブリングによる除去効果は当社アクアオゾンシステムと同じ効果を得る。

除去効果の確認は、排気をにおい袋に回収し、ガステック社のガス検知管により二酸化硫黄の残留濃度の測定結果を用いて評価する。

◆ 吸着除去実験装置

◆ 実験結果

強制揮発風量 8 L/min	SO2濃度	除去効果	備考
処理前排気	8ppm	－	5% SO2水溶液を10000倍に希釈
水中バブリング	1.5ppm	81%
オゾン＋バブリング	1.2ppm	85%